机械设计与制造杂志社

2014, No.279(05) 73-74+78

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四极质量分析器装配工艺研究
Research on a Assembly Process of the Quadrupole Mass Filter

吴定柱;蒋家东;易忠全;胡军;

摘要(Abstract):

四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一。四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦。四极质量分析器零件主要精度误差都要求小于0.002mm,且组件平行度、位置度误差要求均小于0.004mm,传统装配方法已经很难满足精度要求。提出了一种基于手工修研的装配方法,利用该方法装配了一套150型四极质量分析器,最高装配内切圆精度误差小于0.0015mm。

关键词(KeyWords): 四极质量分析器;手工修配;比较测量

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家重大科学仪器设备开发专项资金资助(2011YQ130043)

作者(Author): 吴定柱;蒋家东;易忠全;胡军;

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